上海弘竣实业有限公司生产的半导体外延片生长的CVD石墨托盘采用德国进口石墨,具有更好的稳定性、更长的使用寿命。还可根据客户的要求定制。更好的为半导体厂商服务技术
1)用于LED外延片加工石墨顶板;
2)挡板结构内部晶片边缘休息;
3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;
4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。
功能
1)较低的热膨胀系数
2)thermak导电性更好
3)稳定的化学perfermance
4)更好的耐蚀性
5)较强的导电性
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