石墨半导体 离子注入 等离子蚀刻用石墨制品

由于离子束的原因，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。

上海弘竣实业有限公司采用德国西格里石墨，不仅能为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩，且提供各种规格具有高耐腐蚀性的高纯度石墨电极及离子源。

即使在离子轰击或等离子等极限工作条件下，细粒、高密度石墨也不易受腐蚀。离子轰击设备的金属部件要接触离子束，磨损严重，可使用合适的石墨挡板进行保护。

上海弘竣实业有限公司不仅提供石墨挡板，还提供适用于各种注入机的电极和离子源，这些石墨产品都具有耐腐蚀和纯度高的优点。

    为了满足客户的不同需求，我们上海弘竣实业有限公司还可根据客户生产出不同规格的石墨件，全部采用精加工方式，保障了 石墨件的精度要求。