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准分子激光气体
准分子激光气体 http://www.huategas.com/
准分子激光气体在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。
准分子激光气体的主要成分：
氟化氩（ArF) 193 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氟化氪（KrF) 248 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne
显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。
除了稀有气体之外，准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F2浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，使用的是5%F2+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。
氟气，化学式F2，是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体，密度（标准状态下）：1.554kg/m3 比空气大。有特殊气味，吸入感觉干燥。
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广东华特气体股份有限公司（原名：佛山市华特气体有限公司）位于珠三角腹地佛山市南海区，创建于1999年，公司以广东佛山为产品研发基地，分别在广东、江西、浙江、陕西、湖北、湖南、香港等地设立了十余家全资子公司
公司从事气体及气体设备的研发和生产，气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、标准气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列共200多个品种，并不断研发新产品满足市场需求。生产低温绝热气瓶、汽化器、LNG应急撬等气体设备，安装超高纯气体及工业气体应用配套设备等。为用户提供气体应用一体化解决方案。
推荐产品:高纯二氧化碳，标准气体，氪氖氙混合气，准分子机会气体，环氧乙烷
1、前言
标准气体是仪器、仪表评价标准过程中必不可少的基量物质，它具有复现、保存和量值传递等基本功能。改革开放以来，我国高科技事业发展迅猛，极大地推动了我国计量标准物质的发展，尤其是我国几大乙烯工程的相继开车投产，对各种标准气体的需求量激增。由于标准气体制造具有投资少、见效极快的行业特点，因此，目前我国进入该领域的人数逐年增多，使得标准气体市场出现了空前的竞争势头，并且这种情况愈演愈烈。竞争的结果使广大标准气体使用者能主动、方便地购买到价格十分低廉的产品，但同时也造成了本行业利润下滑，质量受到不同程度的影响。本文根据当今的市场特点，再次就我国标准气体存在的问题进行论述，希望得到广大读者的共鸣，以推动中国特气行业健康、稳定、有序地发展。
2、我国标准气体存在的问题
2．1高纯原料气体难找
高纯原料气体的质量对标准气体制娑嗤的准确性，起着至关重要的作用。原料气的不确定度是构成标准气体合成不确定度的极为重要部分，因此，没有高质量的高纯原料气，就根本制娑嗤不出高准度的标准气体。也正因如此，我国早在20世纪80年代，为了标准气体制娑嗤的需要，原化工部对我国的高纯气体研制给予了多年的资金支持，广大特气工作者为此进行了气体合成、净化、分析等系列工作，取得了骄人的成绩。因此，我们从标准物质目录上可以找到多种早期批准的高纯气体标准物质。
由于高纯气体(如：高纯有机气体)用量小，品种杂，要求纯度极高，且为避免各净化装置相互玷污，又不能相互合并共用，因此，在一切以市场为中心的环境下，真正能静下心搞好每种高纯气体并非易事。近年来，由于标准气体行业竞争加剧，利润下滑，标气生产厂对所用的高纯原料气进价也十分计较，大量低价的劣质原料气也随之出现，如将工业硫化氢当成高纯硫化氢出售。其实目前市面所常见的硫化氢多为硫加氢(S+H2一H2S)干法合成的工业级H2S，其中含有3％～5％的H2，如此高的杂质含量，对配制含H2S组分的标气的影响是显而易见的。市场上有用工业溶解乙炔当作高纯乙炔来配气，由于溶解乙炔含大量的溶剂——丙酮，因此，用户时常抱怨乙炔标准气不准。其实．乙炔中含丙酮多少取决于环境温度，也就是说冬夏两季乙炔中含的丙酮差距较大，这就是客户在冬夏两季采用相同浓度的两瓶标气，却存在很大误差的原因。其结果是，用户一直会将不合格的产品当成合格品，而真遇到合格品他们却认为是假货。
2．2分析检测仪器不足
标准气体在配制前后，都需要分析检测。近几年标准气体组分正由“10-6向“lO-9发展，国产仪器、仪表等价格相对不高，但可靠性较差；进口仪器质量稍好，但其价格较为昂贵，并且更新较快。标气生产时需要多种专用的检测仪器，国外气体公司都拥有大量先进的检测仪器，因此，国外气体配气程序中经常可以看到采用注射的方法。实际上，他们在配制时，为避免多次稀释造成的人力、物力的浪费，多采用上述方法配制，然后用高灵敏度的仪器进行分析，而所用的仪器是被有证标准物质(CaM)进行校准的。这种方法时常在N2-O2标气制娑嗤中使用。如何解决国内标气生产厂因资金不足，导致仪器匮乏的问题将是一个长期难以解决的问题。目前标气市场竞争加剧，市场难做，奢想花上百万购买进口仪器，不是一般公司能做到的。仪器不足或分析技术不过关，是导致我国许多标准气体质量不高的重要原因之一。
2 .3活性组分急需解决气瓶处理技术
近几年，催化剂活性越来越高，人们对所生活和工作的环境越来越重视，这要求活性标准物质如含硫、含氯、含氟、含氰化氢(HCN)、含氨的标准气浓度越来越低。由于这些气体化学活性极高，在一般气瓶中，其稳定性很差。发达国家对气瓶处理技术十分重视，各种处理技术各有特点。如：镀镍、镀金、涂覆有机高分子。而我国仅在“八五”期间开展过此方面的工作，但时至今日，有些处理技术仍满足不了市场的需求，如N2～10×10一C12以下浓度标气的稳定性急需解决。有许多标气配制人员，对气瓶处理重视不够，加之用户对此认识不清，这样该换白钢阀门的不换，该做涂层的也不做。这样的标气用于校准报警仪器，虽然一般情况下，看不出有问题，但这样的报警仪器无疑形同虚设。有的人认为只要进行所谓的预报和，就会避免组分破“吃”的问题，但是，假如不进行配后的分析，有时仍将导致组分含量剧增。因此，尽早地进行气瓶处理是配制稳定可靠活性标气的重要前提。
2．4标准气体的定值
标准气体按重量法或其它方法制娑嗤后，需要采用分析进行复核或定值，尤其对于那些在制娑嗤过程可能会造成污染、组分在高压状态下易被瓶壁吸附、组分之间可能相互作用的标气。配制稳定后，对其含量进行评价或再次定值是标气制娑嗤过程中必不可少的重要过程。有的气体通过仪器可以直接定值，如：氧分析仪、水分析仪，这些分析仪器必须被法定计量较准，但有些组分必须用准确、可靠的标准物质定值。通常的做法是选用上一级标准物质来标定，如用一级标物来校准二级标物，或采购在本行业有一定影响和资质，实力较强的单位的产品来定值。由于一级标物数量、品种较少，价格昂贵，因此，在实际操作中，除为了获证的需要，广大标气同行很少购买一级标物。由于标气品种繁杂，凡是有一定仪器和经验的气体生产单位和技术人员，基本上都采用自定的方法来校准自配的标气，有些单位用重量法配制的标气来定值自配的标气，采用这种方法实际上没有太大的价值。早在20世纪80年代，我国各大实验室基本上都采用静态容积法来配制娑嗤准气体，这种方法用来标定某些气体在今天仍有很大的意义。我们曾多次对CO，CH，OH、丙烯腈、乙腈等组分标气进行静态容积法配制，效果不错。同以往不同的是，在采用玻璃大球配气时，对组分气我们采用精密的注射法同差压计相结合，而对平衡气如：N2H2、Ar、He，我们则采用重量法，因为大球的体积多为5000 mL以上，因此采用高精密天平，可以大大降低称量误差。重量法、静态容积法，具有操作简便、安全可靠、数值准确的优点，是一种十分值得推广的定值方法。
3结论
通过广大从业者的艰辛努力，中国标准气体取得了长足的发展，但同发达国家相比，仍有一定的差距，这些问题，需要政府有关部门和广大的科技工作者相互合作，共同解决。唯有如此，中国的标气行业才能健康有序地发展。
