碳化硅氮化硅烧结炉技术特征
采用电阻加热,设置温区补偿或多区控温,温度均匀性好;
采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术,能在2400℃条件下长时间稳定使用;
采用特殊的高温红外测量技术,控温准确,误差小;
配置专属密封马弗,产品产生的硅蒸汽等副产物对加热器及绝缘材料等的污染小;
采用专用尾气处理装置,环境友好,易清理;
可选择配置脱脂系统,实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理。
碳化硅氮化硅烧结炉产品规格
参数\型号 | SICS-040406 | SICS-060609 | SICS-080812 | SICS-101015 | SICS-121225 | SICS-151530 |
工作区尺寸 W×H×L(mm) | 400×400×600 | 600×600×900 | 800×800×1200 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2500 | 1500×1500×3000 |
最高温度(℃) | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 |
温度均匀性(℃) | ±5 | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
极限真空度(Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
工作区长度尺寸(mm) | 4000/5000(非标定制) |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
碳化硅氮化硅烧结炉配置选择
炉门:手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
真空泵和真空计:进口/国产
PLC:欧姆龙/西门子
控温仪表:日本岛电/英国欧陆
热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
红外仪:单比色/双比色;千野/雷泰
记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件:正泰/施耐德/西门子
料车:滚道式/叉车式
特别提示:本信息由相关企业自行提供,真实性未证实,仅供参考。请谨慎采用,风险自负。