1 提高产品成品率：硅片装夹牢固，减少掉片现象，减少氮化硅的色差片，提高了成品率。

2 工艺点钩点小，新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm²，新的菱形工艺点钩点面积是0.619mm²。

3 使用寿命长。

4 采用德国西格里高纯石墨，纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。