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碳化硅氮化硅烧结炉技术特征
采用电阻加热，设置温区补偿或多区控温，温度均匀性好；
采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术，能在2400℃条件下长时间稳定使用；
采用特殊的高温红外测量技术，控温准确，误差小；
配置专属密封马弗，产品产生的硅蒸汽等副产物对加热器及绝缘材料等的污染小；
采用专用尾气处理装置，环境友好，易清理；
可选择配置脱脂系统，实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理。
碳化硅氮化硅烧结炉产品规格
| 参数\型号 | SICS-040406 | SICS-060609 | SICS-080812 | SICS-101015 | SICS-121225 | SICS-151530 |
| 工作区尺寸 W×H×L（mm） | 400×400×600 | 600×600×900 | 800×800×1200 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2500 | 1500×1500×3000 |
| 最高温度（℃） | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 工作区长度尺寸（mm） | 4000/5000（非标定制） | |||||
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
碳化硅氮化硅烧结炉配置选择
炉门：手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
真空泵和真空计：进口/国产
PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆
热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
红外仪：单比色/双比色；千野/雷泰
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件：正泰/施耐德/西门子
料车：滚道式/叉车式