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立式化学气相沉积炉（碳化硅）技术特征
采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。
立式化学气相沉积炉（碳化硅）产品规格
| 参数\型号 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1015-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作区尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1000×1500 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| 最高温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
立式化学气相沉积炉（碳化硅）配置选择
炉门：丝杠升降/液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计：进口/国产
PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆
热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/B分度号
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件：正泰/施耐德/西门子