1.1为确保上海弘竣实业有限公司生产的石墨舟质量符合客户要求,特制定此检验标准。
1.2用以规范和统一PECVD石墨舟及其附属配件物料检验方案,内容及判定标准。
2.0、职责及权限:
2.1 本标准必须由培训合格之人员执行;
2.2 检验中如有疑问及争执,以品质主管最终判定为准;
2.3 如有本标准未涉及的项目及书面文字无法描述者,以品质主管最终判定为准;
2.4 当本标准与客户标准相冲突时优先采用客户标准。
3.0、CT 156-21片石墨舟检验标准主要有以下12个要点:
1、舟片厚度要求2.5±0.02mm,表面不应有划痕、擦伤等损伤零件表面的缺陷。
2、石墨配件装配面平行度控制在0.02mm,比如石墨块厚度24.5±0.02mm。
3、陶瓷管高度11±0.01mm,配面平行度控制在0.01mm。
4、陶瓷螺杆、石墨螺杆的直线度保证在0.1mm。螺纹部分需用螺纹规检测。
5、工艺卡点头部不得有毛刺,工艺卡点尺寸与舟片孔过盈配合,不得脱落,工艺卡点两头与舟片对称。
6、螺帽、螺母螺纹部分不得有崩角。
7、各部件在装配前必须清理和清洗干净,不得有毛刺、油污、和灰尘等。
8、装配前应对零、部件的主要配合尺寸,及相关精度进行复查。
9、装配时所有配件必须按图纸进行装配,各个配件不得随意更换。
10、螺杆、 螺帽和螺母紧固时, 严禁打击或使用不合适的旋具和扳手。必须采用力矩扳手,并按规定的拧紧力矩紧固。紧固后螺杆、螺母头部不得损坏。
11、整舟尺寸,长度1370±0.3mm宽度(到舟片)272.5±0.2mm 高度261.8±0.5mm,内腿间距167.5±0.2mm,电极孔高度方向间距90±0.2mm,宽度方向9±0.2mm。
12、整舟装配完毕后,须检查各配件是否装配到位,配件和舟耳不得有台阶。